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相对湿度的控制对于无尘车间很重要

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相对湿度的控制对于无尘车间很重要

发布日期:2019-04-29 作者: 点击:

  无尘车间相对湿度为什么要严格操控?
  长沙无尘车间相对湿度操控欠好,就有可能使洁净室整体表现下降,而且还会带来一系列的影响。
  1.细菌成长
  细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中能够活泼地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就能够增长。而相对湿度处于40%至60%的规模之间时,能够使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。所以洁净室相对湿度要操控在必定规模。

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  2.长沙无尘车间洁净室作业人员感到室温舒适的规模

  对湿度在40%至60%的规模相同也是人类感觉舒适的适度规模。假如洁净室湿度过高会使人觉得气闷,而湿度低于30%则会让人感觉枯燥,皮肤皲裂,呼吸道不适以及情感上的不快,然后影响作业。
  3.洁净室相对湿度操控欠好,出现静电荷
  当相对湿度超过50%时,静电荷开端敏捷散失,但是当相对湿度小于30%时,它们能够在绝缘体或许未接地的外表上持续存在很长一段时间。洁净室相对湿度在35%到40%之间能够作为一个令人满意的折中,半导体洁净室一般都运用额外的操控设备以限制静电荷的堆集。

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  4.相对湿度操控欠好,容易构成洁净室里的金属腐蚀
  许多化学反响的速度,包含腐蚀进程,将随着相对湿度的增高而加速。一切暴露在洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时,高湿度能够使反响加速。一些金属,例如铝,能够与水构成一层维护型的氧化物,并阻挠进一步的氧化反响;另一种金属,例如氧化铜,是不具有维护才能的。在高湿度的环境中,铜制外表更容易遭到腐蚀。
  5.水汽冷凝
  在相对湿度较高的洁净室环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和外表之间构成了衔接键,能够添加颗粒与硅质外表的黏附力。这种效应称为凯尔文浓缩,便是当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的首要力量。

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  6.长沙无尘车间洁净室光刻的退化
  在半导体洁净室中最迫切需要适度操控的是光刻胶的灵敏性。因为光刻胶对相对湿度极为灵敏的特性,它对相对湿度的操控规模的要求是最严格的。相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及准确的尺度操控都是很关键的。乃至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而敏捷下降。当然,改动粘性,就会改动由固定组分涂层构成的维护膜的厚度。
  此外,在高的相对湿度环境下,因为水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力相同也能够遭到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,乃至不需要聚合改性剂,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。
  7.吸水性
  相对湿度操控欠好,对洁净室吸水性产出必定的影响。
  

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